UV TAPE REMOVER인 JECO UV 경화기는 8~12 인치 까지 CURING 가능한 웨이퍼용 반자동 경화기 입니다. 제품은 고정되어 있는 상태로 Lamp 가 이동하는 Scan 조사 방식으로 오랜 경험과 기술력을 바탕으로 조도 편차 ( 필터 사용) 를 최소화하여 제품의 균일조사가 가능합니다.
UV TAPE REMOVER인 JECO UV경화기는 8~12인치까지 CURING 가능한 웨이퍼용 반자동 경화기 입니다.
제품은 고정되어 있는 상태로 LAMP가 이동하는 SCAN조사 방식으로 오랜 경험과 기술력을 바탕으로 조도 편차(필터사용)를 최소화 하여 제품의 균일조사가 가능합니다. 또한 SCAN회수 설정이 가능하므로 UV TAPE마다 제 각각인 필요 광량을 맞추기에 적합합니다.
제품 (FING FRAME)위치에 질소 퍼지가 가능하도록 설계되어 외부로부터 산소 유입이 방지되므로 제품 표면의 산화 방지를 통해 UV경화 시 제품의 품질이 향상되며(선택사양) 고광령, 저온유지로 제품 관리가 용이합니다.
램프의 높이 조절이 가능하므로 (수동, 단 조절) 램프 수명 저하에 따른 광량 변화 대응이 용이하며 LAMP교환이 간단하여 램프 교환 시 발생되는 시간LOSS를 최소화 합니다. 또한 UV LAMP POWER출력을 단계별로 조절 할 수 있습니다. (트랜스 3단제어)
- JECO의 UV TAPE REMOVER제품인 JHCI-301B-8IN는 6~8inch wafer UV 경화를 위한 자동화 장비이다.
- 상부의 셔터가 장착 되어 있어 UV 빛에 노출되지 않고 작업 할 수 있다.
- 셔터에 안전 센서가 장착되어 있어 작업자의 안전하게 작업 할 수 있다.
- 상부셔터 구동은 AIR 실린더로 작동된다.
- 상부 셔터가 열리면 제품을 놓을 수 있는 공간이 있으며 질소 퍼지로 UV 경화의 효율을높일 수 있다.
- 제품 지그와 UV램프간의 셔터가 장착되어 있으며 제품 셋팅중에도 UV빛에 노출되지 않는다.
- 웨이퍼 제품을 올려 놓을 수 있는 지그뿐 아니라 일반 형태의 제품도 올려 놓을 수 있는 쿼츠가 장착되어 있다.
- 제품은 움직이지 않고 UV램프의 이동으로 경화가 이루어 지므로 제품의 훼손이 적다.
- 경화 횟수나 시간을 결정할 수 있어 어느 제품이든지 경화조건 잡기가 용이하다.
- UV 조사 강도 조절이 가능하며 광량 조절도 가능하다.
- UV 경화가 완료되면 부저와 함께 상부 셔터가 자동으로 열리며 다음 작업을 바로 진행 할 수 있다.
GENERAL SPECIFICATION
| ITEM | DESCRIPTION |
|---|---|
| SYSTEM DIMENSION | Cure Machine : 1080(W) *1125(D)* 1150(H) |
| CURING WIDTH | 8” |
| INPUT VOLTAGE | ORDER MADE |
| LAMP TYPE | Me or Hg UV LAMP – 1EA |
| LAMP ARC LENGTH | 375 mm |
| TOTAL CONSUMTION | 3 KW / LAMP |
| WAVELENGTH | 320 ~ 420 nm(Peak : 365nm) |
| IGNITION TIME | 3 MINUTE |
| REFLECTOR TYPE | COLD MIRROR |
| HOT MIRROR (152X152X2T) | (OPTION) |
| PLC CONTROL | MITSUBISHI : FX3U-48MR |
| PLC <-> TOUCH 통신 | MITSUBISHI : FX3U-232BD |
| PLC D/A CONTROL | MITSUBISHI : FX3U-4DA-ADP |
| TOUCH PANEL | AGP3301-L1-D24 |
| INVERTER CONTROL | LS산전 : SV004Ig5-2u |
| TOWER LAMP | ST45L-3-220-SZ |
| BUZZER | KSP-41S |
| UV SHUTTER (UV ZONE) | *AIR SILINDER 250mm *V GUID SYSTEM |
| TOP SHUTTER | *AIR SILINDER 450mm *LM RAIL SYSTEM |
| COLOR | STANDARD (IVORY) OR CUSTOM COLOR |
GENERAL SPECIFICATION
| ITEM | OPTION |
|---|---|
| UV SENSOR | UV 200 |
| SIGNAL | *CURE START/STOP *LAMP ON/OFF *RESET |
| HOT MIRROR | QUARTZ COATING |
